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  • 專業鑄就價值,合作成就未來

    槽式單晶制絨機 S400/S510/S550/S600

    槽式單晶制絨機 S400/S510/S550/S600

    主要功能:

    用于單晶硅片的損傷層去除、制絨、清洗、干燥。



    0512-66163090
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    設備性能

    產能: Up to 9600/8000/10000/12000 Wafers/Hour

    設備有效利用率:≥98%

    碎片率:≤0.01%

     

    硅片規格

    硅片厚度:≥140 μm

    硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

    花籃類型:Low-surface carrier (LSC)made by PVDF

    花籃片間距:4.1mm

    花籃容量:100-120 wafers


    機械臂系統

    機械臂:4 sets

    伺服馬達:8 PC

    抬起時間:Less than 5 sec 

     

    設備尺寸 

    長*寬*高:15998*2630*2574mm

    長*寬*高:16200*3000*2574mm

    長*寬*高:17730*3000*2574mm

    長*寬*高:25560*2960*2574mm

     

    方向

    工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

     

     電力供應

    供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

    控制電源:DC 24V

    滿載電源:230KW/138KW

    建議最大保險絲規格:225A/135A

     

    安裝要求

    最小地面承重:750Kg/㎡

    最低車間高度:3.5m

    無塵室級別:ISO7(10K Class)

    環境溫度:17℃<RT<30℃

    最大濕度:70%


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